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Single-Mask Fabrication of Temperature Triggered MEMS Switch for Cooling Control in SSL System

机译：用于SSL系统中冷却控制的温度触发MEMS开关的单模板制造

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Wei, J.; Ye, H.; Van Zeijl, H.W.; Sarro, P.M.; Zhang, G.Q.;
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年度 2012
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